浙江維修英�？�Modul1000檢漏儀常見故障維修公司
檢漏儀檢測開始時出現的故障
1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應。
2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。
氦質譜檢漏儀自動校準結束時出現的故障
自動校準失敗(燈絲亮)紅色校準燈亮。首先檢查自動校準設置，開關S1是否處于OFF位置，所設置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質譜室(如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致，氦質譜檢漏儀也可使用)。
檢漏儀檢漏時出現的故障
1、不向細檢方式轉換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明氦質譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關切換到自動轉換狀態。
2、靈敏度低。檢查三極規所測壓力，等到質譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。
3、氦本底太高。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質會吸附較多的氦氣，導致氦污染)，檢查儀器系統是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環境的污染問題，如果有多臺氦質譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風不好時，致使氦氣擴散慢，也會導致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環境的氦污染。
4、工裝設計不合理導致檢漏通不過。初檢時工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過;加死堵氦質譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因為工裝設計不合理所致，比如工裝結構不合理，內表面太粗糙，導致過多的氦氣殘留;或者密封設計不合理導致密封不可靠(由于工裝設計人員對專業真空設計不熟悉)。
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